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　　在生产中，材料的粗糙、凹凸不平、翘曲等表面形状对产品的性能和功能有着最直接的影响。光学轮廓仪是一种非接触式无损表面轮廓仪，使用方便，性能优异，性价比高。是一种适合生产的纳米级三维轮廓仪。

　　测试原理:白光通过分光器发出特定波长的光。这种特定波长的光在双光束干涉物镜中被分束器分成两束，一束光照射在参考物体表面，另一束光照射在样品表面，使两束反射光在相机上成像。通过由样品表面的不平坦引起的光程差获得的干涉条纹信息被转换成高度信息，并且生成3D图像。

　　测量时，计算机控制反射镜驱动装置的进给来驱动参考反射镜的进给，使被测样品表面的不同高度平面会逐渐进入干涉区域。如果进给在足够的扫描范围内，被测样品表面的整个高度范围可以通过最佳干涉位置。每一步的干涉图样由图像传感器(CCD摄像机)采集，视频信号由图像采集卡转换成数字信号存储在计算机存储器中。基于白光干涉的典型特征，利用最佳干涉位置识别算法对干涉图样数据进行分析处理，提取特征点位置(最佳干涉位置J)，可以方便地获得每个像素点的相对高度，从而实现三维形貌的测量。以往的二维测量(线+高度差)通常是用针式粗糙度仪来完成，但近年来随着材料细化和微结构的加速，需要获取更多的信息。因此，扫描白光干涉显微镜*2和激光显微镜*3的三维测量(表面+高度差)得到了灵活应用。