1、多点计量的探测误差

将图形板安置在水平工作台上，运用轮廓光照明。镜头挑选最大倍数，以保障计量只能通过多个局部圆弧(规则运用15个局部圆弧)计量计算圆参数。以自动捕捉边缘点的方式获得最佳计量效果，取10次计量圆的状误差值。

2、成像歧变的探测误差

将规范图形板安置在水平工作台上，运用轮廓光照明。镜头挑选最大、最小和中间扩大倍数，挑选适合的规范圆，使圆的像占视场的2/9，在9个位置计量圆的中心坐标，以单轴坐标变化的最大值身为计量效果。

3、照明影响的探测误差

将规范图形板安置在水平工作台上，运用轮廓光照明。镜头挑选最大，最小和中间扩大倍数挑选适合的规范圆，使圆的成像占视场的2/3，使用“整体提取圆提取出圆的边沿，计算圆直径。

4、二维长度计量示值误差校准

使用玻璃刻线尺，在水平轴向和对角线方向各计量2个位置，再由客户任意指定一个位置，共7个位置实施校准计量。每一个位置计量5个长度，每一个长度计量3次，记录测量值和标准值的差，得以个示值误差值。

5、Z轴长度计量示值误差

使用量块竖立在工作台上，利用表面光照明，运用自动聚焦的方式瞄准工作台和量块上表面，计量Z方向量块高度值，与名义值相比，明确仪器Z轴长度计量示值误差。