探针台可用于测试和表征各种应用的设备。一种令人感兴趣的应用是高频(HF)设备的测试。高频探测应用通常也称为射频(RF)或微波(MW)，具体取决于应用和要测试的频率范围。讨论HF探测时通常使用的频段如下表所示。

这些是IEEE定义的频段，但一些应用和行业使用不同的命名法和不同的频率分组。例如，频率范围3–30GHz可称为超高频(SHF)，而30–GHz范围可称为极高频(EHF)。此EHF范围有时也称为毫米范围(mm)。当工作在GHz以上时，该应用被称为太赫兹，超出了我们将在此处讨论的范围。

高频晶圆探针测试-探针臂配置

为了与上面列出的任何频段一起工作，探测站不应要求对其制造方式进行太多更改。实际上，包含的基本组件与标准探头系统没有太大区别，但某些细节需要根据您的应用要求进行定制，如下所述。

高质量的HF和RF探测解决方案旨在最大限度地减少移动、漂移和噪声源，尽管大多数探测应用都是如此。为实现这一点，探测站要求系统中使用的机械装置和底座无振动

台式探针台最简单的补充是包括一个隔振台，这有助于消除周围环境的干扰。使用适合HF的压板可以进一步减少振动。压板用于在探头系统和高频探测应用中固定操纵器、调谐器和其他扩展模块，这些模块通常更大，由钢制成或镀钢。在大多数系统中，这些将具有螺纹安装孔，以允许将机械手用螺栓固定到位或允许机械手的磁性固定。

对于射频系统，机械手需要能够提供最高水平的精度、刚性和稳定性。这种高水平的稳定性是通过使用可以用螺栓固定或磁性固定到压板上的坚固底座来实现的。操纵器还必须能够适应RF探测所需的额外电缆、探头和调谐器的重量增加。

HF探头系统上的探头可以设置为多种配置，以便将信号应用到DUT。您需要什么取决于您的应用程序的具体情况和要求。最常见的配置是地-信号-地(GSG)，但也经常使用其他配置，例如地-信号(GS)和信号-地(SG)，以及GSSG和GSGS（地-信号-信号-地和地-信号）-接地信号）。这些图表如下图所示：

HF–高频探头尖端配置

除了使用单个探头来表征您的设备之外，RF探头卡还可以从各种供应商处获得，并且可以轻松地集成到探头系统中。通常这些将包括可以集成到射频系统中的校准选项。

用于固定待测设备(DUT)的晶圆卡盘将具有真空控制功能，以确保牢固固定基板。此外，这些HF卡盘能够保持两个校准基板或一个校准基板和一个接触基板。

配置RF或微波探针台时要进一步考虑的是确保您使用的探针电缆适合您需要使用的频率范围。与探针和探针卡一样，许多制造商都可以使用。

最后，在规划您的RF探测设置时，重要的是要考虑您将用于运行测试协议的仪器。能够与这些接口对于生产RF探针系统至关重要，否则将无法进行RF探测。通常，仪器和分析仪与探针台分开购买，但两者之间的兼容性至关重要。

高频探测总是比直流探测应用更具挑战性，但如果在设计和开发过程中指定了正确的设备和仪器，那么没有理由无法实现准确的测量。选择射频探针台时的理想平台选择，因为它具有天生的灵活性和持续升级路径。可以随着您的探测需求而增长和变化，而无需购买全新的系统。