王魁波，罗艳，吴晓斌*

真空科学与本领学报，，第42卷，第7期,-页。

DOI:10./j.cnki.cjvst.

引用格式：K.Wang,Y.Luo,X.Wu,LeakRateMeasurementDeviceBasedonStandardLeakComparisonMethod,Chin.J.Vac.Sci.Tech,42,7,-()

文章引见

本文引见了一种密封件的漏率丈量安设，其极限真空可达10-7Pa量级，漏率丈量周围为：10-7Pa.m3/s~10-14Pa.m3/s，用于具备检漏接口的各种密封件的漏率测试，可宽广运用于空间环模设立、高能加快器、核辐射安设、等离子体物理安设、EUV光刻机等真空检漏周围。同时采取了一种比对漏率丈量办法，用于评估密封件的密封功能，经过四极质谱仪较量准则漏孔和待测密封件流出气体形成的离子流，行使准则漏孔的已知漏率和四极质谱的线性反响外推，筹划密封件的漏率，详细囊括动态比对法和静态积累比对法。本文以测试不锈钢刀口密封件的漏率为例，展现了该漏率丈量安设两种测试办法的本质运用，并与氦质谱检漏仪在大气下粗检的漏率相较量，给出了不锈钢刀口密封件功能的发起测试办法。

团队引见

研讨团队长远从事极紫外光刻和集成电路装配研讨。前后担任科技部国度科技宏大专项02专项5项、中科院先河专项1项和国度当然科学基金1项等多项宏大项目。盘绕DPP（放电等离子体）极紫外光源，开展了极紫外光学计量、极紫外掩模探测、极紫外光刻机整机处境节制等研讨劳动，创建了囊括极紫外辐照损伤、极紫外反射率丈量、极紫外掩模弊端探测、高精度真空材料放气、微小浓度痕量气体探测、高精度流场节制等在内的国内惟一的极紫外光刻性格本领研讨平台和极紫外光刻机摹拟处境研讨平台，开端建设了满意极紫外光刻机干净真空请求的真空本领编制。

通信做家简介

吴晓斌，中科院微电子所研讨员，博士生导师。现任国度02专项光刻机工程叨教部大师、华夏计量测试学会真空计量业余委员会副主任委员、世界真空本领准则化本领委员会委员、华夏真空学会质谱解析与检漏专委会委员、华夏真空学会真空冶金业余委员会委员、《真空与低温》编委等职。

吴晓斌研讨员长远从事极紫外光刻、光学探测和周详仪器等研讨，在《AppliedMaterialScience》、《AppliedOptics》、《JournalofVacuumScienceTechnologyB》、《ComputersandFluids》、《Measurement》、《真空科学与本领学报》和《质谱学报》等期刊发布论文30余篇，受权国际首创专利1项，受权国度首创专利30余项。

敬请

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