我们通常称的质量流量控制器，它的全称是热式气体质量流量控制器，英文：MassFlowController(简称MFC)；而质量流量计的全称是热式气体质量流量计，英文名：MassFlowMeter(简称MFM）。它们是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不会因为温度或者压力的变化而产生失准的现象。

质量流量计，是一种计量和监测的仪表；而质量流量控制器，不但具有质量流量计的功能，更重要的是：它能够自动地控制气体的流量，也就是说，用户可根据情况的需要，来进行流量的设定，流量控制器则自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离最初的设定值。简单来说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算计连接的自动控制气体的稳流装置。

所以总的来说，一般情况下，仅对气体流量进行计量或监测的话，用质量流量计就能够满足要求；而如果是需要对气体流量进行控制的话，则需要用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候,用质量流量计;当定流测压时,需要用质量流量控制器。注意,当质量流量控制器处于清洗状态时,也可以当质量流量计使用,只不过气压降要比普通质量流量计大一些。