文章转载自： 　　热式质量流量控制器主要是由流量传感器、分流器通道、流量调节阀和放大控制器组成。它利用毛细管测温原理测量气体的质量流量（无温度和压力补偿）。传感器加热桥测得的流量信号送至放大器放大。将放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，然后将差分信号放大控制调节阀。通过通道流量的闭环控制使其等于设定流量。

　　分流器决定主通道中的流量。与该流量控制器配套的流量指示器配有稳压电源、数字电压表、设定电位器、外围装置、内部转换装置和三位阀控开关。流量表不仅具有调节气体质量的功能，而且可以根据用户的需要自动调节气体的流量。MFC将自动将流量保持在设定值，即使系统压力波动或环境温度变化，也不会偏离设定值。

　　热式质量流量控制器是一种用于测量和控制气体或液体的质量流量仪表。它可以自动控制气体流量，即用户可以根据需要设定流量，MFC可以自动保持流量恒定在设定值。即使系统压力波动或环境温度变化，也不会偏离设定值。

　　该产品通常由电路板、传感器、进出口管接头、分流器管、外壳、调节阀等部件组成。它是一种可手动设置或与计算机自动连接的气体流量稳定装置。简单来说，本产品也是一种稳流装置。

　　该控制器也被制造用来测量和监控从每分钟几毫升到每分钟几千升的范围。它的连接方式也有很多种，比如卡套连接、螺纹连接、宝塔嘴连接以及法兰连接等多种方式。

　　正是因为热式质量流量控制器准确度高，重复性好的特点，进而被很多领域都接受，比如它可应用在石油化工，冶金，制药，汽车电子，实验室，环保行业，制气配气等行业中。在检测气体或液体的扩散，氧化，光纤熔炼，离子注入，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，以及真空镀膜设备，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中都有用到本产品，可见该产品的作用之大。

　　该控制器特点：

　　1、高精度

　　2、流量范围宽-从0.一直到lpm

　　3、耐压等级-高达psi/bar（可选：psi/bar）

　　4、可编程多气体/多量程功能

　　5、可单独轻松访问的诊断/维护端口

　　热式质量流量控制器采用热扩散原理，而热扩散技术是一种在恶劣条件下具有优良性能和高可靠性的技术。本控制器是一种无需温度、压力补偿，对管道内各种气体流动进行方便、准确监测的产品。它是一种新型的流量测量和监测仪器。