设备名称：微观尺寸测量装置

商品编号：GA

型号：WF-R55UV-H5

制造商：HitachiKokusaiElectric

年份：年1月

类别：半导体

规格参数:3σ≤6nm非接触式高精度线宽测量远程控制器\线宽测量范围0.1μm至20μm\自动调光功能\工件尺寸≤WxDmmH≤20mm.

产品规格:

1、电源电压：1φV/15A

2、频率：50/60Hz

3、XY电动台阶：AC伺服马达(1μm单位)

4、驱动刻度：线性刻度

5、工作尺寸：Φ、Φ、Φ硅片

6、工作高度：~μm

7、定位精度：±3μm

8、台阶扭矩：mm

9、尺寸：×0×mm

10、公用设备：Air:5.9×PaVAC:35kPa