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在半导体、集成电路、太阳能光伏、集成面板等行业领域中，特种气体输送系统是电子工厂必不可缺的厂务系统之一，且是十分危险的存在，在使用及维护过程中都必须认真对待。

特种气体是有着易燃、易爆、剧毒、腐蚀性等危险性质的气体，一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员、厂房、设备的严重损失。

因此，整个系统对设计的安全性要求十分严格，其中关于气体检测报警系统的设置更是十分有必要，气体检测报警系统可以避免气体泄漏等危险发生。

特种气体检测装置种类

自燃性、易燃性气体检测采用检测装置有：催化燃烧型、半导体或电化学。

毒性气体检测采用电化学检测装置。

采样方式有三种：扩散式、单点式或多点吸入式。根据使用场所的不同，确定不同特种气体的采样方式，正确选用扩散式检测装置、单点或多点吸入式气体检测装置。

特种气体检测装置的安装位置规定

（1）自燃性、易燃性、剧毒性、毒腐性气体应在GR和阀门装置排风管口处安装；

（2）生产工艺设备的自燃性、易燃性、剧毒性、毒腐性气体阀门箱有排风管口处，工艺设备装置排风管口处；

（3）采样方式有三种：扩散式、单点式或多点吸入式。根据使用场所的不同，确定不同特种气体的采样方式，正确选用扩散式检测装置、单点或多点吸入式气体检测装置；

（4）惰性气体间可能产生窒息的区域；

（5）自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体设备间；

（6）其他可能发生泄漏的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体的环境；

（7）当特种气体相对密度小于或等于0.75时，特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处。当特种气体相对密度大于0.75时，特气体探测器应设置在释放源下方离地面0.3m~0.5m处。

检测装置报警设定值应如何设置

（1）自燃性、易燃性气体的一级报警设定值不应大于25%易燃性气体爆炸浓度下限值，二级报警设定值不应大于50%易燃性气体爆炸浓度下限值；

（2）剧毒性、毒性气体的一级报警设定值不应大于50%空气中有害物质的最高允许浓度值一时间加权平均容许浓度(TLV-TWA)，二级报警设定值不应大于%空气中有害物质的最高允许浓度值一时间加权平均容许浓度(TLV-TWA)；

（3）设在惰性气体间的氧气探测器，其一级报警设定值不应小于19.5%氧气体积浓度(V/V)，二级报警设定值不应小于18%氧气体积浓度(V/V)；

（4）二氧化碳气体系统宜设二氧化碳气体探测器，其报警设定值应为气体ppm。

检测装置报警响应时间如何设置

（1）自燃性、易燃性检测报警采用扩散式装置时间上应小于20S，吸入式检测装置时间上应小于15S；

（2）剧毒性、毒性气体检测报警采用扩散式检测装置时间上应小于40S，吸入式检测装置时间上应小于20S；

（3）氧气检测报警采用扩散式检测装置时间上应小于20S，吸入式检测装置时间上应小于15S。

以上，便是关于特种气体控制系统中气体检测报警装置的安装位置和数值设置的简单介绍，如有不解，盖斯帕克也十分欢迎各位的垂询。

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