1.一种硅烷尾气排放处理系统，包括真空泵组(1)，其特征在于:真空泵组(1)的输出端与燃烧筒组(2)的输入端连接，真空泵组(1)的输入端与硅烷车间尾气排放管的输出端连接，燃烧筒组(2)的输出端与废气塔组(2)连接

　　2.根据权利要求1所述的硅烷尾气排放处理系统，其特征在于，所述燃烧筒组(2)由多个并联的燃烧筒组成，每个燃烧筒由三个燃烧筒入口组成，分别为氮气入口(6)、压缩空气入口(7)和车间废气入口(8)。

　　3.根据权利要求1所述的硅烷尾气排放处理系统，其特征在于，真空泵机组(1)的输出端连接至车间废气入口(8)，真空泵机组(1)的输出端设有压力传感器(9)和风力发电机组(4)，用于实时远程监控。

　　4.根据权利要求1所述的硅烷尾气排放处理系统，其特征在于，所述废气塔组(3)由多个废气塔串联而成，废气塔的排气口通过风管与相邻废气塔的废气进口相连。

　　5.根据权利要求1所述的硅烷尾气排放处理系统，其特征在于，每个废气塔内自上而下设有喷淋装置(10)、填料装置(11)和氢氧化钠溶液罐(12)，每个废气塔外侧下侧设有氢氧化钠进料装置(13)，而另一侧设有液体泵(14)，泵(14)将氢氧化钠溶液输送到喷雾器装置(10)，喷雾器装置在处理之后喷射进入的硅烷尾气，混合液体通过填料装置(11)后流回氢氧化钠溶液罐(12)。当氢氧化钠溶液罐(12)中的液体过多时，它将通过排水管道(15)。

　　6.根据权利要求1所述的硅烷尾气排放处理系统，其特征在于:所述风力发电机组(4)由多个并联的风机组成，所述风机为变频风机，其中一个为工作风机，另一个为备用风机，工作风机开启，备用风机关闭。当工作风扇出现故障时，备用风扇开启，保证系统正常运行。

　　7.根据权利要求1所述的硅烷尾气排放处理系统，其特征在于，每个风力涡轮机的两端都连接有软管(16)。

　　8.根据权利要求1所述的硅烷尾气排放处理系统，其特征在于:真空泵机组(1)输出端的风管上设有第一手动风量调节阀(17)，每个燃烧筒输出端的风管上设有第二手动风量调节阀(18)，每个废气塔输出端和输入端的风管上设有第三手动风量调节阀(19)；每台风机输出端的风道上设有第四风量手动调节阀(20)。

　　9.根据权利要求1所述的硅烷尾气排放处理系统，其特征在于，在每个风机的排风塔组(3)连接的风道上设置有止回阀(21)，防止硅烷倒流。

　　10.根据权利要求1所述的硅烷尾气排放处理系统，其特征在于，所述烟囱(5)的上部设有取样口，所述烟囱(5)的下部设有排放口。