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设备名称：微观尺寸测量装置商品编号：GA型号：WF-R55UV-H5制造商：HitachiKokusaiElectric年份：年1月类别：半导体规格参数:3σ≤6nm非接触式高精度线宽测量远程控制器\线宽测量范围0.1μm至20μm\自动调光功能\工件尺寸≤WxDmmH≤20mm.产品规格:1、电源电压：1φV/15A2、频率：50/60Hz3、XY电动台阶：AC伺服马达(1μm单位)4、驱动刻度：线性刻度5、工作尺寸：Φ、Φ、Φ硅片6、工作高度：~μm7、定位精度：±3μm8、台阶扭矩：mm9、尺寸：×0×mm10、公用设备：Air:5.9×PaVAC:35kPa

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